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| 产地 | 进口 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 质保 | 1年 |
日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器
日本KOFLOC5100系列质量流量控制器-内抛光
金属密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
内部抛光Ra≤0.1,杜绝二次污染介质
±15VDC供电性能稳定,0-5V模拟信号更加通用
适用于(yu)高真空、半导体以及对(dui)管(guan)路洁净度高要(yao)求(qiu)场合
日本科赋乐内抛光系列质量流量控制器
性能参数:
| 测量范围(N2) | 1SCCM-20SLPM |
| 准确度 | ±1.0%FS |
| 多个性 | ±0.2%FS |
| 没有响应日期 | 1秒三岁 |
| 耐冲击 | 1.0Mpa |
| 进出口大压差 | O.3Mpa |
| 过程压值 | 0.05-0.3Mpa |
| 泄密率 | 1*10-11pa·m³/s下例 |
| 内打蜡 | Ra≤0.1 |
| 水温的范围 | 5-45℃ |
| 环境湿度比率 | 10-90%RH(不可能返潮) |
| 面料 | 本体SUS316L |
| 密封带圈SUS316L、PTFE | |
| 电力设备主板接口 | DB9 |
| 仿真讯号 | 0-5V键盘输入/的输出 |
| 电力 | +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA; |
| 压缩空气管道相连接 | 带天窗1/4UJR |
| 选型1/8UJR | |
| 权重 | 约1000g |